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Hoken Materials 社 为尖端制造产业,提供高纯度石墨及 SiC、TaC 涂层整体解决方案.
Hoken Materials 社是为半导体、光伏、第三代半导体、新能源出行、
航空航天等对极限环境稳定性有严苛要求的领域,研发生产高性能材料产品。

高品等方性石墨|高纯度・高密度・高强度 高附加值

Hoken Materials 社以石墨产品最高水准的等方性(Isotropic)结构为核心,依托卓越的热学、
电学特性及精密加工稳定性,广泛应用于尖端制造工艺的核心部件。

特征

  • High Purity
    通过精准控制杂质含量并实施高纯化处理,产品可完美适配半导体工艺严苛要求
  • High Density & Strength
    采用CIP成形工艺,搭配3000℃石墨化炉处理,确保产品具备超高密度与高强度性能。
  • Excellent Thermal Stability
    即便在高温、骤热、急冷的极端环境下,仍能保持优异的耐久性。
  • Low Thermal Expansion
    在精密工艺场景中,具备极佳的尺寸稳定性。
  • Chemical Resistance
    可稳定适配酸、熔融态物质、碱、金属等多种复杂化学环境。

应用领域

  • Semiconductor
    • - MOCVD / EPI / ALD 设备用 Susceptor
    • - Ion Implantation · CMP · Etch 部件
  • Solar / Photovoltaic
    • Si Ingot Hot Zone, 干锅,热场
  • EDM / Mold
    • 放电加工电极,高精密磨具
  • High Temperature Furnace
    • 高温炉热场,隔热部件,热压模具
  • Industrial / General
    • 真空,化学设备用部品,高温治具类

产品构成册

HK500

广泛应用于 光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK550

主要应用于 碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅和 SiC 涂层。

HK600

广泛应用于光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK660

应用于碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅以及 SiC 涂层等领域。

HK680

广泛应用于 光纤制造、工业用高温炉以及单晶制造等领域。

HK690

主要应用于 碳化硅 (SiC) 单晶生长、单晶硅和 SiC 涂层。